Sonderfundamente
Projekte 2022
Werner-Hartmann-Bau, TU Dresden
Design und Konstruktion eines Sonderfundamentes für einen Shaker
ENAS Chemnitz
Schwingungsmessungen und Design eines Sonderfundamentes für ein SEM
AMTC, Dresden
Design, Konstruktion und Abnahmemessung verschiedener Sonderfundamente
Globalfoundries, Dresden
Design und Konstruktionszeichnungen verschiedener Stands
Infineon Regensburg
Schwingungstechnische Voruntersuchung und Standdesign für ein empfindliches Reinraumtool
Projekte 2021
Texas Instruments, München
Standdesign und Abnahmemessung für die Aufstellung eines Scanners
Vishay Siliconix Itzehoe GmbH
Schwingungsmessungen sowie Design und Konstruktion eines Sonderfundaments
Bosch, Dresden
Design und Konstruktionszeichnungen verschiedener Stands
IHP, Frankfurt (Oder)
Design, Konstruktion und Abnahmemessung von zwei Sonderfundamenten
AMTC, Dresden
Design, Konstruktion und Abnahmemessung verschiedener Sonderfundamente
Globalfoundries, Dresden
Design und Konstruktionszeichnungen verschiedener Stands
Projekte 2020
Fraunhofer ISIT, Itzehoe
Schwingungsmessungen und Standdesign und -Konstruktion
AMTC, Dresden
Design, Konstruktion und Abnahmemessung verschiedener Sonderfundamente
Globalfoundries, Dresden
Design und Konstruktionszeichnungen verschiedener Stands
Projekte 2019
Infineon, Regensburg
Standdesign und Untersuchung von Schwingungen an einem Tool
Fraunhofer IAF, Freiburg
Messtechnische Voruntersuchung und Standdesign zur Aufstellung eines E-Beams
AMTC, Dresden
Design, Konstruktion und Abnahmemessung verschiedener Sonderfundamente
Projekte 2018
Infineon, Regensburg
Standdesign, Konstruktion und Nachweismessungen
AMS, Graz, Österreich
Design von Spezialfundamenten für empfindliche Tools
Projekte 2017
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AMS, Graz, Österreich
Schwingungsmessungen auf der Waffeldecke, Design verschiedener Spezialfundamente und QS-Messungen nach der Aufstellung.
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Jenoptik Diode Lab, Berlin
Untersuchung Aufstellort für einen Stepper und Design Sonderfundament.
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Siemens AG, Berlin
Design und Konstruktion eines Stahlsockels für einen Roboter.
Projekte 2015
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AMTC, Dresden
Design und Konstruktionszeichnungen verschiedener Stands.
Projekte 2014
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Globalfoundries, Dresden
Design und Konstruktionszeichnungen verschiedener Stands.
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ISIT Fraunhofer Itzehoe
Sonderfundamente für einen neuen Reinraum im ISIT (Fraunhofer Itzehoe).
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Dr. Johannes Heidenhain, Traunreut
Sonderfundamente für Bestückungsautomaten in Modulbauweise für Dr. Joahnnes Heidenhain, Traunreuth.
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AMTC, Dresden
Spezialfundamente für ein E-Beam, inspection tools, REM und andere bei AMTC (Maskenhaus).
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ENAS Fraunhofer Chemnitz
Stands für ein E-Beam tool bei ENAS, Fraunhofer Chemnitz.
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Bosch, Reutlingen
Design und Konstruktionszeichnungen eines Stands für einen Implanter.
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Elmos Semiconductor AG, Dortmund
Baudynamische Planung der Sonderfundamente und Abnahmemessung zur Aufstellung eines neuen Nikon Steppers 14EX12 im Reinraum.
Projekte 2013
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Globalfoundries, Dresden
Design und Konstruktionszeichnungen verschiedener Stands.
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SIB Technikum Dresden
Baudynamisches Design verschiedener Sonderfundamente für die Aufstellung schwingungsempfindlicher Geräte im Neubau des Technikums Dresden.
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IHP
GmbH , Frankfurt (Oder)Baudynamische Voruntersuchung zur Aufstellung eines OVL-3 (KLA Tencor Archer 100).
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Carl Zeiss SMT Group, Oberkochen
Design des Untergestells für den Granit eines Frame-Montagestands und weitere Stands.
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Vishay Siliconix Itzehoe GmbH
Baudynamische Untersuchung zur Aufstellung eines Scanners /Steppers.
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Fritz-Haber-Institut Berlin
Design von Sonderfundamenten für den Neubau der PL Laserhalle am Fritz-Haber-Institut in Berlin.
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AMTC Dresden
Design und Konstruktionszeichnungen von 7 Sonderfundamenten für schwingungsempfindliche Geräte.
Projekte 2012
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Globalfoundries, Dresden
Design und Konstruktionszeichnungen verschiedener Stands.
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Texas Instruments, München
Messtechnische Untersuchung zur Aufstellung von Nikon Scannern SNC 01 und SNC 02. Baudynamische Beurteilung de Aufstellfläche.
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Peikert BMS GmbH
Baudynamische Auslegung und Fundamentdesign für die Aufstellung von Siemens Siplace SX1/SX2 Automaten in einer Halle bei Siemens, Standort Berlin.
Projekte 2011
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Globalfoundries, Dresden
Design eines Sonderfundamentes für einen ASML Stepper STP1401 und weiterer Stands.
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IDE GmbH, Raunheim
FEM Analyse und Konstruktionszeichnungen für ein Sonderfundament für ein SEM DTU Jeol JBX900.
Die Referenzliste stellt lediglich einen Auszug unserer Projekte dar, sie ist nicht vollständig.